铂扩散快恢复二极管的分析
摘要：近年来，随着电力电子技术的发展，快恢复二极管在开关电源等电路中得到越来越广泛的应用。在快恢复二极管的制造中，减小器件少子寿命，提高器件开关速度的方法是在器件内部引入复合中心。用铂扩散的方法来减少反向恢复时间trr，这无论从铂的能级理论上分析，还是从寿命理论上分析都有其可行性。另外，采用铂扩散工艺成本较低，适合大批量生产。本文从理论方面阐述了铂扩散控制少子寿命的可行性。本文对铂扩散快恢复二极管的各项参数特性以及测试原理进行了较为详细的介绍。
关键词：铂扩散快恢复二极管反向恢复时间trr 正向压降VF 漏电流IR
目录
1引言 1
2总体方案设计 1
2.1快恢复二极管概述 1
2.2铂扩散分析 5
3测试原理及方法 7
3.1反向恢复时间trr的测试原理及方法 7
3.2正向压降VF 8
3.3反向漏电流IR 9
3.4温度特性测试 9
3.5主要实验设备 10
4铂扩散二极管制备分析论证 12
4.1材料选择及结构设计 12
4.2样品制备 13
4.3关键工艺分析 13
4.4工艺因素的研究以及优化 15
5结果分析 21
5.1 VF-trr折衷性能分析 21
5.2 trr的温度特性 23
5.3 VF的温度特性 24
5.4 trr与高温反向漏电流的关系 25
5.5实验结论 26
6参考文献 27
参考文献
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