Ga2O3紫外光探测器的制备与研究
摘要：由于β－Ga2O3在新能源、军事国防、生物医疗、空间物理、LED、光伏和环境测评等领域的重要应用价值，本文将从Ga2O3结构特性和光学电学性质进行介绍，然后对制备的Ga2O3薄膜进行XRD结果分析、透射光谱分析、电性能分析和紫外光电响应现象研究，并对Ga2O3基光伏型紫外探测器和Ga2O3基光导型紫外探测器进行概述，最后对Ga2O3器件的产业化展望。
关键词：β－Ga2O3；紫外探测器；电性能；光电响应
Gallium oxide for UV detector
ABSTRACT：Since the beta Ga2O3 in new energy, military defense, biological, medical, space physics, LED, solar and environmental assessment in the areas of important application value, this article will from the Ga2O3 introduces the structural characteristics and optical electrical properties, then the results of XRD analysis was carried out on the preparation of Ga2O3 films, transmission spectra analysis, performance analysis and ultraviolet light electric response phenomenon research, and the Ga2O3 base type solar ultraviolet detector and Ga2O3 base type photoconductive uv detectors are summarized, finally, industrialization prospect of Ga2O3 device.
Keywords:β－Ga2O3,UV detector,Performance,Photoelectric response
目录
第一章 绪论 1
1.1 紫外光谱的认识 1
1.2 镓的发现简史 3
1.3 Ga2O3 材料的基本性质 5
1.3.1 Ga2O3 材料的结构特性 5
1.3.2 β-Ga2O3 材料的光学和电学性质 6
第二章 氧化镓紫外探测器的原理和性能 7
2.1 紫外探测器的原理 7
2.2 MSM 结构紫外探测器的主要性能参数 10
2.3 氧化镓紫外探测器的性能测试 11
第三章 Ga2O3制备及研究 13
3.1 紫外透明导电Ga2O3薄膜的制备及性能表征 13
3.1.1 实验 13
3.2 结果与讨论 14
3.2.1 XRD结果分析 14
3.2.2 透射光谱分析 15
3.2.3 电性能分析 16
3.2.4 紫外光电响应性能研究 16
3.3 总结与分析 18
第四章 Ga2O3紫外光探测器的制备与研究 19
4.1 Ga2O3基光导型紫外探测器 19
4.2 Ga2O3基光伏型紫外探测器 20
第五章 未来的Ga2O3器件和即将实现的产业化 22
第六章 结论 23
小结与致谢 23
参考文献 25
第一章 绪论
1.1 紫外光谱的认识
由于紫外探测器在新能源、军事国防、生物医疗、空间物理、LED、光伏和环境测评等领域的重要应用价值以及广阔的前景。所以此领域在近年成为热点对象。
虽然在各类紫外光源中，太阳光的紫外辐射只是其总辐射量的七分之一，不过它确是其中最强烈的一种紫外辐射源。有这么一种紫外光，它存在于天外并且因为大气中氧原子只能吸收170nm左右的紫外辐射，所以在这一频谱区的紫外辐射被称为“真空紫外”。不仅仅如此，臭氧层中的臭氧因为对300nm以下的紫外光辐射可以发生激烈的吸收作用，所以能穿透大气层到达地球表面的紫外辐射线，这些辐射线有两种区分，可见盲区指的是因为大气透射率较大造成可以被大气层吸收较少的谱区，俗称为大气的紫外窗口。同理，辐射中波长在300nm以下频谱区，自然被叫做“日盲区”。
参考文献
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