聚酰亚胺表面钝化工艺
摘要： 本文旨在为聚酰亚胺表面钝化工艺提供一些理论和设备基础，介绍多种表面钝化膜生长工艺及弊端，详细分析聚酰亚胺做表面钝化膜的可行性和优点，并阐述该钝化工艺的关键工艺问题及其解决方法。
关键词：聚酰亚胺 表面钝化 亚胺化
目录
1引言 1
2总体方案设计 1
2.1表面钝化工艺分析 1
2.2方案分析 2
3工艺过程及论证 2
3.1聚酰亚胺材料选择及其作用分析 2 3.1.1α粒子遮挡膜分析 2
3.1.2钝化层和缓冲内涂层分析 3
3.1.3多层金属互联电路分析 5
3.1.4接点涂层膜分析 6
3.2聚酰亚胺表面钝化工艺研究 6
3.2.1聚酰亚胺表面钝化工艺的技术基础 6
3.2.2聚酰亚胺的性能表征 8
3.2.3 聚酰亚胺表面钝化工艺过程 9
3.2.4聚酰亚胺表面钝化的研究结果及讨论 13
3.3聚酰亚胺表面钝化工艺效果论证 14
3.3.1工艺过程 14
3.3.2工艺结果 14
3.3.3效果分析 15
4钝化工艺结果分析 15
4.1光敏聚酰亚胺钝化工艺分析 16
4.1.1工艺材料和设备选择 16
4.1.2工艺过程 16
4.1.3工艺分析 17
4.2.非光敏聚酰亚胺钝化工艺分析 20
4.2.1非光敏聚酰亚胺的特性 20
4.2.2 重点工艺问题的解决 21
4.3与光敏聚酰亚胺的对比分析 21
4.3.1可靠性评价 22
4.3.2 效果分析 22
4.4聚酰亚胺材料的改性及其工艺结果分析 22
4.4.1分子结构的改造 22
4.4.2 聚酰亚胺的共混改性 23
4.4.3 聚酰亚胺的复合改性 24
4.4.4 改性后的聚酰亚胺在表面钝化中的应用分析 24
5附录 26
6参考文献 27
参考文献
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